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VMP閥門(mén)分配箱的設(shè)計(jì)與應(yīng)用

發(fā)布時(shí)間:2023-01-18 | 游覽:4068

內(nèi)容摘要:閥門(mén)分配箱(VMB)通常用于輸送特殊氣體。

閥門(mén)分配箱(VMB)通常用于輸送特殊氣體。在半導(dǎo)體、光伏太陽(yáng)能、 IC芯片的生產(chǎn)領(lǐng)域中,VMB廣泛用于磷化氫、硼烷、硅烷、硫化氫、硫化氫、易燃易爆的、有毒氣體等應(yīng)用中。近年來(lái),智研數(shù)據(jù)研究中心隨著中國(guó)VLSI、平板顯示器、光伏發(fā)電等行業(yè)的快速發(fā)展,對(duì)電子燃?xì)馐袌?chǎng)的需求明顯增加,電子特種氣體的本地化已成為趨勢(shì)時(shí)代。

據(jù)了解,中國(guó)在本地化方面取得了可喜的進(jìn)展:國(guó)內(nèi)高純度氨氣改變了外國(guó)天然氣公司的壟斷市場(chǎng),高純度四氟化碳“寶貴而無(wú)貨”的時(shí)代也結(jié)束了。高純度氯化氫已在中國(guó)成功開(kāi)放。市場(chǎng)。因此,閥門(mén)分配系統(tǒng)的應(yīng)用將越來(lái)越廣泛。

特殊氣體VMB應(yīng)設(shè)計(jì)有進(jìn)氣管隔離閥和壓力指示裝置;氣路應(yīng)配備一個(gè)獨(dú)立的壓力控制調(diào)節(jié)閥、過(guò)濾器、過(guò)流開(kāi)關(guān);氣體分支應(yīng)設(shè)有獨(dú)立的出口隔離閥;管道上應(yīng)配備單獨(dú)的吹掃氣設(shè)備、輔助真空設(shè)備等。

對(duì)于惰性氣體,應(yīng)提供進(jìn)氣管路隔離閥和壓力指示裝置;氣路應(yīng)配備獨(dú)立的壓力控制調(diào)節(jié)閥、過(guò)濾器;氣體分歧應(yīng)配備獨(dú)立的出口隔離閥。

電子氣體,特別是危險(xiǎn)的特殊氣體,是集成電路、光電、微電子學(xué),尤其是VLSI、液晶顯示設(shè)備、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料的制造工藝中必不可少的基本支撐材料,這種材料被稱(chēng)為電子工業(yè)的“血液”和“食品”,其純度和清潔度直接影響著光電產(chǎn)品的質(zhì)量。、微電子元件的質(zhì)量、集成度、的具體技術(shù)指標(biāo)和良率,從根本上限制了電路和器件的準(zhǔn)確性和準(zhǔn)確性。 VMB的引入是一對(duì)多,點(diǎn)對(duì)點(diǎn)分支的核心單元。不僅保證了多點(diǎn)用氣,而且確保了用氣的安全。

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