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三氟化氯（chlorine trifluoride）是無機(jī)化合物 ，分子式為ClF?，分子量為92.45。有毒，有強(qiáng)腐蝕性，常溫下為無色氣體，降溫變?yōu)榫G色液體。

可用作氟化劑、燃燒劑、推進(jìn)劑中的氧化劑、高溫金屬的切割油等。在半導(dǎo)體工業(yè)中，三氟化氯被用于清潔化學(xué)氣相沉積的反應(yīng)艙。它具有不需拆卸反應(yīng)艙就可以清除艙壁附著的半導(dǎo)體物質(zhì)這一優(yōu)點(diǎn)。與其它代替的清潔劑不同，三氟化氯在使用前不需經(jīng)過等離子體激化，因?yàn)榉磻?yīng)艙殘存的熱量就足以使它分解并與半導(dǎo)體材料反應(yīng)。