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氣體管道系統(tǒng)中氣體與管道的關(guān)系

發(fā)布時間:2022-12-21 | 游覽:3972

內(nèi)容摘要:氣體管道系統(tǒng)中氣體與管道的關(guān)系: 近年來以大規(guī)模集成電路為代表的微電子產(chǎn)品生產(chǎn)對高純氣體的純度和雜質(zhì)含量的日益嚴(yán)格的要求,使高純氣體的配管技術(shù)日益受到關(guān)注和重視。

氣體管道系統(tǒng)中氣體與管道的關(guān)系:

近年來以大規(guī)模集成電路為代表的微電子產(chǎn)品生產(chǎn)對高純氣體的純度和雜質(zhì)含量的日益嚴(yán)格的要求,使高純氣體的配管技術(shù)日益受到關(guān)注和重視。以下針對高純氣體輸送從選材到施工以及驗收、日常管理作個簡單的概述。

常見氣體的種類

電子行業(yè)中常見氣體的分類:

普通氣體,也稱大宗氣體 (Bulk gas ):氫氣(H2)、氮氣(N2)、氧氣(O2)、氬氣(A2)等

特種氣體(Specialty gas )主要有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3 POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6??等等

特殊氣體的種類一般可分為腐蝕性、毒性、可燃性、助燃性、惰性等,一般常用的半導(dǎo)體氣體分類如下:

(一)、腐蝕性 / 毒性:HCl 、BF3、 WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、 PH3、Cl2、 BCl3 ?等

(二)、可燃性:H2、 CH4、 SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO?等

(三)、助燃性:O2、Cl2、N2O、NF3?等

(四)、惰性:N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He?等

半導(dǎo)體氣體很多是對人體有害。特別是其中有些氣體如SiH4的自燃性,只要一泄漏就會與空氣中的氧氣起劇烈反應(yīng),開始燃燒;還有AsH3的劇毒性,任何些微的泄漏都可能造成人員生命的危害,也就是因為這些顯而易見的危險,所以對于系統(tǒng)設(shè)計安全性的要求就特別高。

高純氣配管技術(shù)是高純氣體管道系統(tǒng)的重要組成部分,是能否將合符要求的高純氣體送至用氣點仍保持質(zhì)量合格的關(guān)鍵技術(shù);所謂高純氣配管技術(shù)包括系統(tǒng)的正確設(shè)計、管件及附件的選擇、施工安裝和試驗測試等內(nèi)容。

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